شارك سالم الحارثي في تطوير طريقة لمعايرة مقياس العمق عند تحليل الطبقات الأولى من أسطح المواد، ونُشر العمل في دورية فيزيائية محكمة. تعالج الطريقة مشكلة في تحليل العينات بالقذف الأيوني: تحديد مقدار المادة التي أزيلت منذ بداية القذف، حتى يمكن تحويل تقدم عملية الإزالة إلى عمق حقيقي داخل العينة.استند الفريق إلى مطيافية تشتت الأيونات متوسطة الطاقة، للحصول على بيانات تسمح ببناء مقياس للعمق بدءًا من مسافات تقل عن نانومتر. واختُبرت الطريقة على سيليكون ذي اتجاه بلوري محدد، عولج مسبقًا بالجرمانيوم لتكوين طبقة سطحية غير متبلورة، ثم زُرع فيه البورون بطاقة 1 كيلوإلكترون فولت. واستُخدمت بيانات معدل التآكل لتفسير توزع البورون قرب السطح.تساعد المعايرة على تحديد مواقع الذرات المزروعة في أولى طبقات السيليكون، وهي منطقة يصعب توصيفها إذا افتُرض معدل إزالة ثابت دون اختبار. كما صيغت الطريقة لتناسب عينات ذات طبقة سطحية غير متبلورة، أو أسطحًا بلورية تتضمن طبقة مرجعية من عنصر ثقيل. يقدم البحث أداة قياس أدق لدراسة الزرع الأيوني الضحل والواجهات القريبة من سطح المادة.